分别计算掺有下列杂质的Si,在室温时的载流子浓度、迁移率和电阻率:①硼原子3X10¹⁵cm^-

分别计算掺有下列杂质的Si,在室温时的载流子浓度、迁移率和电阻率:

①硼原子3X10¹⁵cm^-3;

②硼原子1.3X10¹⁵cm^-3+磷原子1.0X10¹⁶cm^-3:

③磷原子1.3X10¹⁵cm^-3+硼原子1.0X10¹⁶cm^-3:

④磷原子3X10¹⁵cm^-3+镓原子1X10¹⁷cm^-3+砷原子1X10¹⁷cm^-3。