智能机器人在光刻工艺中的应用，对于促进智能制造的发展具有重要意义。（2025）

A.提高生产效率

B.保证制造精度

C.降低生产成本

D.提高生产灵活性

E.实时监控与故障预警

A.替代工人进行所有操作

B.通过自动化和精确控制减少人力投入

C.简化光刻工艺步骤

D.加快光刻胶的反应速度

A.原材料搬运与存储

B.加工过程控制

C.生产线布局设计

D.成品检测与筛选

A.提高数据收集与处理的效率

B.增强评估结果的客观性和准确性

C.替代医护人员直接进行药物注射

D.促进患者护理与情感支持的个性化

E.预测未来药物研发趋势

A.自动化与智能化生产

B.精密操作挑战纳米尺度

C.数据分析与优化极限

D.自主决策与适应环境变化

E.构建高效协同的生产网络

A.自动化与智能化生产

B.精密操作挑战纳米尺度极限

C.数据分析与优化

D.自主决策与适应环境变化

E.构建高效协同的生产网络

A.虚拟仿真技术

B.机器学习算法

C.光刻精度控制

D.离子注入剂量调整

E.健康管理系统